CS 系列
CS-4小型探针台
CS-4 小型探针台最大可用于 6 英寸以内样品测试，满足 I-V/C-V、PIV、光电测试等需求；采用同轴丝杠传动结构实现线性移动，形状轻巧、操作方便、价格实惠，可放置于手套箱内使用。
- 型号
- CS-4 (CS 系列)
- 品牌
- 普竞思
- 产地
- 中国
- 定制
- 支持非标定制
- 样品尺寸
- 最大 6 英寸
- X-Y 移动精度
- 10 μm
- 重量
- 约 25 kg
- 外形尺寸
- 400×400×500 mm
产品特点
- 满足 I-V/C-V、PIV 测试、光电测试等。
- 最大可用于 6 英寸以内样品测试。
- 同轴丝杠传动结构，线性移动。
- 可放置于手套箱内使用。
- 形状轻巧，操作方便，价格实惠。
应用领域
产品型号与规格
| 指标 | 参数 |
|---|---|
| 样品尺寸 | 最大 6 英寸（4/6 英寸可选） |
| 水平旋转 | 360°，微调 15°，精度 0.1°，带角度锁死 |
| X-Y 移动行程 | 4×4 英寸，精度 10 μm |
| 样品台 Z 轴 | 可升降 10 mm |
| 样品固定 | 真空吸附（中心 / 多圈吸附环） |
| 针座平台 | U 型，最多 6 个探针座 |
| 背电极 | 电学独立悬空，4mm 插孔 |
| 外形尺寸 / 重量 | 400×400×500 mm / 约 25 kg |
小型探针台适合哪些测试？
适合器件级 I-V/C-V、光电与晶圆初步筛查，以及需置于手套箱内的惰性环境测试，兼顾精度与灵活性。
如何扩展测试能力？
可选配光电测试配件、加热台、镀金卡盘、屏蔽箱与转接头，按测试项目灵活组合。
