探针台-高低温真空光电测试系统
我司于 2023 年 5 月在吉林某所成功安装探针台-高低温真空光电测试系统,变温范围 77K~473K,温度稳定性优于 ±0.1℃。
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我司于 2023 年 5 月在吉林某所成功安装 CINDBEST CGO-4 探针台-高低温真空光电测试系统。
核心指标
该探针台变温范围 77K ~ 473K,温度稳定性优于 ±0.1℃;配三同轴探针臂,漏电流优于 100fA;
配无油分子泵组,低温下真空度优于 5×10⁻⁵ mbar。
主要功能
利用液氦或液氮快速制冷,为光电子材料和器件提供真空和低温测试条件。与 Keithley 4200 半导体特性仪匹配使用,
可用于功能材料、拓扑材料等前沿领域的电学特性表征。
提示:低温真空测试对振动极为敏感,建议搭配主动隔振平台使用,以保障扎针成功率与测试数据稳定性。
探针台有哪些类型?具有什么优点和作用?
科技的进步离不开相关技术产品的应用。探针台在多个行业中得到了广泛使用,按操作模式可分为手动、半自动与全自动三类。
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科技的进步离不开相关技术产品的应用,这些产品可以起到加快技术发展以及节约人员精力的作用,探针台在多个行业中都得到了广泛使用。
一、产品分类
按照操作模式来进行区分,探针台可以被分成手动、半自动以及全自动三类。顾名思义,手动类型的产品需要结合人员操作来使用;
全自动或半自动类型则在人工放片后,由设备自动完成对位与逐点测试。
二、主要优点
半自动探针台在保持较高测试效率的同时,具备更强的灵活性,适合研发阶段的多样品、小批量测试场景。
以 CAS-8 为例,其 X-Y 轴重定位精度可达 ≤±1μm,全自动对位时间 ≤15s,误测率 ≤1‰。
三、主要作用
探针台通过与半导体特性测试仪连接,可自动完成对各种晶体管芯的电参数测试及功能测试,并具备 MAP 显示功能,
广泛应用于晶圆级电性测试、光电材料器件表征与失效分析。
主动隔振与被动隔振,该如何选择?
被动隔振结构简单、性价比高;当仪器自身存在振源或对低频振动极敏感时,主动隔振系统是更优选择。
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被动隔振:够用且经济
以 PJS-ZG 系列精密阻尼隔振光学平台为代表的被动隔振方案,依靠蜂窝芯夹板结构与高分子复合阻尼材料衰减振动,
固有频率 3.5–6Hz,无需供电、维护简单,可覆盖大多数光学实验与显微成像场景。
气浮隔振:更低的固有频率
PJS-QF 系列桌面式气浮隔振台内置特殊空气弹簧,固有频率可降至 2.5–2.7Hz,
对中低频振动的隔离效果显著优于纯阻尼方案,且重量轻、便于移动。
主动隔振:应对极低频与自身振源
AVI 系列与 TS 系列通过内置传感器检测振动并输出反向力动态抵消,主动隔振范围可覆盖 0.7Hz 起,
不仅能抑制建筑物传递的环境振动,也能抑制放置在台面上的仪器自身产生的振动。
对于 AFM、STM、干涉仪、光刻设备等极敏感仪器,主动隔振往往是唯一可行的方案。
选型建议
可按下述顺序判断:仪器是否对 1–10Hz 低频振动敏感 → 仪器自身是否有运动部件(如扫描台、压电位移台)→
场地是否位于高楼层或临近振源。任一项为"是",即建议评估主动隔振方案。
光学平台台面材质,为什么多选用高导磁不锈钢?
1Cr17 高导磁不锈钢兼具优异的平面度保持能力与磁屏蔽特性,是精密光学台面的主流选择。
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普竞思 PJS-ZG 系列与 PJS-MB 系列光学面板的上面板均采用 1Cr17 优质高导磁不锈钢,经精密研磨处理。
三个关键原因
1. 平面度保持能力。不锈钢经精密研磨后表面平面度可达 0.05mm/m²,且在温湿度变化下形变稳定。
2. 亚光无反射。回旋打磨工艺清除毛边,达到无反射、亚光效果,避免杂散光干扰光路。
3. 磁性与耐腐蚀平衡。高导磁特性有助于磁屏蔽,同时不锈钢具备良好的耐腐蚀性,适合长期使用。
内芯结构同样关键
台板采用蜂窝芯夹板结构,具有重量轻、高刚度、高阻尼等优点,配合国标级阻尼橡胶垫,共同构成完整的隔振体系。