CAS-8 系列
CAS-8 半自动探针台
CAS-8 自动对位探针台能对晶片实现自动对位测试，操作简单、快捷、测试精度高，具有 MAP 显示功能。与测试仪连接后，能自动完成对各种晶体管芯的电参数测试及功能测试。
- 型号
- CAS-8 系列
- 品牌
- 普竞思
- 产地
- 中国
- 定制
- 支持非标定制
- 可测片型
- 3 / 4 / 5 / 6 / 8 寸
- X-Y 行程
- 250 mm × 350 mm
- X-Y 移动分辨率
- 0.1 μm
- X-Y 重定位精度
- ≤ ±1 μm
- X-Y 移动速度
- ≥ 80 mm/sec
- Z 轴行程 / 分辨率
- 20 mm / 0.1 μm
- Theta 角度分辨率
- 0.00018°
- 误测率
- ≤ 1 ‰
产品特点
- 可测片型：3 寸、4 寸、5 寸、6 寸、8 寸。
- 测试硅片单元尺寸：20 – 200 mil。
- X-Y 轴采用先进的直线电机驱动，行程 250mm × 350mm。
- Z 轴采用高精度 4 导轨结构，有效保证负载和垂直度。
- Theta 轴采用高精度 DD 马达，角度分辨率 0.00018°。
- 全自动对位时间 ≤ 15s，误测率 ≤ 1‰。
- 具备 MAP 显示功能，可与测试仪连接自动完成电参数与功能测试。
应用领域
技术参数
| 项目 | 参数值 |
|---|---|
| 可测片型 | 3 寸、4 寸、5 寸、6 寸、8 寸 |
| 测试硅片单元尺寸 | 20 – 200 mil |
| X-Y 轴驱动方式 | 直线电机驱动 |
| X-Y 轴行程 | 250 mm × 350 mm |
| X-Y 轴移动分辨率 | 0.1 μm |
| X-Y 轴重定位精度 | ≤ ±1 μm |
| X-Y 移动速度 | ≥ 80 mm/sec |
| Z 轴结构 | 高精度 4 导轨结构 |
| Z 轴行程 / 分辨率 | 20 mm / 0.1 μm |
| Z 轴重定位精度 / 速度 | ≤ ±1 μm / ≥ 20 mm/sec |
| Theta 轴 | 高精度 DD 马达，角度行程 ±10°，分辨率 0.00018° |
| 误测率 | ≤ 1 ‰ |
| 全自动对位时间 | ≤ 15 s |
| 步进分辨率 | 0.001 |
| Z 向行程 | 0–5 mm 可调 |
| 承片台转角 θ 调节范围 | ±20° |
测试速度
| 硅片单元尺寸 | 测试速度 |
|---|---|
| 45 mil | 5.0 pcs/s |
| 50 mil | 4.6 pcs/s |
| 87 mil | 4.2 pcs/s |
探针台需要搭配隔振平台吗？
强烈建议。探针台的 Z 轴重复定位精度达 ±1μm 级别，环境振动会直接影响扎针成功率与测试数据稳定性，建议搭配气浮或主动隔振平台使用。
是否支持高低温真空测试？
支持。可配置高低温真空测试系统，变温范围 77K–473K，温度稳定性优于 ±0.1℃，配三同轴探针臂，漏电流优于 100fA。
