AVI-200 系列
主动隔振系统 AVI-200
AVI-200 系列主动隔振系统是六自由度主动隔振（主动隔振 1Hz–200Hz，被动隔振 >200Hz），为客户精密测试加工提供良好的振动环境，广泛应用于干涉仪、大型半导体设备、AFM 及各类电子显微镜 SEM、STM、TEM 等。
- 型号
- AVI-200 系列
- 品牌
- Table Stable（代理）
- 产地
- 瑞士
- 定制
- 支持非标定制
- 主动隔振范围
- 1 Hz ~ 200 Hz
- 被动隔振范围
- > 200 Hz
- 负载范围（双模块）
- 0–400 kg
- 基本配置
- 两个模块 + 一个控制器
- 系统噪声
- 低于 50 nG/√Hz
- 功耗
- 通常为 9 W
- 传输率
- 超过 10Hz < -35 dB
- 使用环境
- 仅用于室内
产品特点
- 5–20 毫秒的响应时间。
- 六自由度主动隔振。
- 紧凑、模块化的多功能设计。
- 无低频共振，并且没有空气要求。
- 提供优秀的低频段隔振能力。
- 主动隔振 1Hz ~ 200Hz，被动隔振频率 > 200Hz。
- 适用范围：干涉仪、大型半导体设备、摩擦学、AFM 及各大类型电子显微镜 SEM、STM、TEM。
应用领域
技术参数
| 项目 | 参数值 |
|---|---|
| 主动隔振范围 | 1 Hz ~ 200 Hz |
| 被动隔振范围 | > 200 Hz |
| 响应时间 | 5 – 20 ms |
| 基本配置 | 两个模块 + 一个控制器 |
| 输入电压 | 90 – 125 VAC / 200 – 250 VAC，50 – 60 Hz |
| 控制器尺寸 | 48 × 13 × 25 cm |
| 静态柔度 | 垂直方向约 1.75 μm/N；水平方向约 3.5 μm/N |
| 性能监控 | 通过示波器显示复用信号，表示是否带有隔振效果的震动等级 |
| 使用环境 | 仅用于室内 |
| 产品选配 | 低频传感器 LFS-3：搭配后可将隔离频率降低至 0.7 Hz |
型号与单模块尺寸
| 型号 | 单模块尺寸 (mm) |
|---|---|
| AVI-200S/LP | 360 × 120 × 112.5 |
| AVI-200M/LP | 600 × 120 × 112.5 |
| AVI-200XL/LP | 820 × 130 × 112.5 |
主动隔振与被动隔振的区别？
被动隔振依靠弹性元件衰减高频振动，结构简单、无需供电；主动隔振通过传感器检测振动并输出反向力动态抵消，对 1Hz 以下的低频振动同样有效。
LFS-3 低频传感器的作用？
搭配 LFS-3 后，AVI 系列主动减振设备的隔离频率可进一步降低至 0.7Hz，适用于对极低频振动敏感的场合。
