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AVI-400 系列

主动隔振系统 AVI-400

Table Stable 在主动隔振领域拥有 30 多年经验。最新主动隔振系统可为最灵敏的仪器提供各种消除振动干扰的需求,该系统使用内置的测力传感器,不仅可以检测建筑本身引起的震动,也可以检测到放置在该隔振系统上面仪器本身引起的震动。

型号
AVI-400 系列
品牌
Table Stable(代理)
产地
瑞士
定制
支持非标定制
主动隔振范围
1 Hz ~ 200 Hz
被动隔振范围
> 200 Hz
负载范围(双模块)
0–800 kg
静态柔度
垂直约 1.7 μm/N / 水平约 3.4 μm/N
校正力
水平最大 8 N / 垂直最大 16 N
系统噪声
低于 50 nG/√Hz
功耗
通常为 18 W
传输率
超过 10Hz < -35 dB

产品特点

  • 5–20 毫秒的响应时间。
  • 六自由度主动隔振。
  • 低频隔振性能优异,安装和使用简单。
  • 紧凑、模块化的多功能设计。
  • 无低频共振,并且没有空气要求。
  • 主动隔振频率 1Hz ~ 200Hz,被动隔振频率 > 200Hz。
  • 系统主动检测输入振动并动态消除。
  • 负载能力 0–800kg。
  • 适用范围:光谱仪器、高精度计量工具、隧道显微镜、光刻工具、SEM、TEM、UHV-SPM。

应用领域

干涉仪 轮廓仪 光谱仪 液体表面张力测量仪 扫描探针显微镜 扫描隧道显微镜 扫描电子显微镜 原子力显微镜 医疗检测设备 核磁共振仪 微纳米硬度检测仪 光刻设备

技术参数

项目参数值
主动隔振范围1 Hz ~ 200 Hz
被动隔振范围> 200 Hz
响应时间5 – 20 ms
基本配置两个模块 + 一个控制器
输入电压90 – 125 VAC / 200 – 250 VAC,50 – 60 Hz
控制器尺寸48 × 13 × 25 cm
静态柔度垂直约 1.7 μm/N;水平约 3.4 μm/N
性能监控通过示波器显示复用信号,表示是否带有隔振效果的震动等级
使用环境仅用于室内
产品选配低频传感器 LFS-3:搭配后可将隔离频率降低至 0.7 Hz

型号与单模块尺寸

型号单模块尺寸 (mm)
AVI-400S/LP396 × 190 × 112.5
AVI-400M/LP720 × 190 × 112.5
AVI-400XL/LP856 × 230 × 112.5

主动隔振与被动隔振的区别?

被动隔振依靠弹性元件衰减高频振动,结构简单、无需供电;主动隔振通过传感器检测振动并输出反向力动态抵消,对 1Hz 以下的低频振动同样有效。

LFS-3 低频传感器的作用?

搭配 LFS-3 后,AVI 系列主动减振设备的隔离频率可进一步降低至 0.7Hz,适用于对极低频振动敏感的场合。

需要选型帮助?

提供仪器类型、重量尺寸与场地条件,工程师将为您匹配合适的隔振方案与型号配置。